表面形貌分析

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格式要求

Data Size:	<Nx> x <Ny>
Surface Size:	<Sx> x <Sy>
X Unit:	MicroMeter
Y Unit:	MicroMeter
Z Unit:	NanoMeter

X	Y	Z
<x>	<y>	<z>

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沿 X 的平均剖面

假定形貌沿所选方向重复。比较各周期的节距和形状；残差是减去按恒定节距重复的平均轮廓之后剩下的高度。

方向

手动指定周期

X μm Y μm

周期轮廓

各周期平均 ±1 标准差

节距偏差

样品	调平 Sq	调平 Sa	周期	周期数	节距标准差	形貌偏差	残差 Sq	高频 Sq

指标定义

调平: 减去最小二乘平面，避免样品倾斜进入高度统计。
Sa、Sq、Sz: 算术平均高度、均方根高度、最大高度（峰减谷）。计算前会去掉该区域的平均高度。Sq 是均方根，不是标准差估计（除以点数 N）。
节距: 沿周期方向，相邻同类极值（峰或谷，取更突出的一类）的间距。标准差和极差描述这一幅扫描里节距本身的差别。
分割周期: 由各扫描线自相关的第一个显著峰确定，并用抛物线插值细化。它用来切开周期，可以和极值节距略有不同。
形貌偏差: 各周期轮廓在 ±15% 周期内对齐后，相对平均轮廓的均方根差。这个数不含节距误差。未对齐的均方根会把节距误差也算进去。
残差: 一维模式减去“平均轮廓按恒定节距重复”的模型。垂直于周期方向的起伏会留在残差里。二维模式减去矩形平均单元。边缘上不完整的周期不进入残差统计。
高频: 镜像延拓后做二维傅里叶变换，保留空间频率高于 1/λc 的成分。λc 附近 ±20% 用平滑过渡，减轻振铃。这不是 ISO 16610 高斯滤波器。